第341章 与尖端的差距！林决带来的信心！
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紧接着。
一个被林决规划好的消差工程节点图，出现在众人眼中。
林决声音随之传来，
“前辈们也都清楚，EUV 反射镜多层膜的原位相位非均匀性误差，是因为8 米极紫外长光程的全局波前基线失配产生的。”
“目前我们的做法和国外一样。”
“......用11 块钼硅多层膜，通过反射镜在斜入射入，让膜层反射偏差经过 8 米的光程，11的 次反射线性累积，最后形成固定波前畸变。”
“我看了胡老给的手稿。”
“目前，我们光机所单块反射镜精度极致工艺水平，面形 0.2nm RMS，13.5nm 反射率 65%......”
“对比蔡斯，ASML的成熟量产水平来看，面形差了0，反射率差也差了足足5%！”
“而在多次反射累计后......”
“这个差距变得更大了。”
“我们全链路最终波前精度是1.2nm RMS，而ASML的，是0.15nm RMS。”
“整整8倍的差距！！！”
“在这个数据下，实际工况仅能完成单根纳米线的原理验证！”
“没办法......我们既缺少高端测量仪器，还没有精准的全局耦合补偿模型......连实际误差都拿不到。”
林决的声音在会议室内回响。
他口中的这些问题，在座诸君都是清楚，也是他们为此努力奋斗解决的目标。
根据目前的进展来看......
要追上国外目前量产水平，在原本规划中，可能还要个十二三年左右的时间。
注意.....
这里林决说的还是量产水平，而并非最尖端产品！
“但现在......”
“根据我列出的工程节点推导。”
“林氏函子光学变式......咳咳......请允许我先用这个名字称呼它。”
“我们是不是可以将它先做跨尺度同构映射，然后将零散值变成全局真实的分布呢！？”
“这样做的话，我们就不用再去推演11次反射的相位积累.......”
“而是将十几个零散的可见光测量指数函子，完成两个关键映射！”
“大家且看......”
说着，林决点开其中一个节点示例，一个更加直观的模型图落入众人眼中。
“通过这种方式。”
“我们可以同构映射13.5纳米的EUV波长分布，以及同构11块镜子串起来后的误差分布。”
“如此一来。”
“我们便能准确知道，每一块镜子的具体相位偏差。”
核心专家组们听到此话后，不禁陷入沉思。
很快，有个跟原本就随胡老的光学设计师站起来问，
“林决你的想法很新奇，不过我有点疑惑，你要怎么确定每块镜子背面促动器要加的补偿电压？”
一听这话。
林决笑了出来，就在这儿等着你呢。
他关掉当前画面，打开另外一个节点图。
“函子根据这个真实的相位分布，直接输出电压值给促动器施加局部变形，把镜面反向相位补偿量就行。”
那个光学设计师皱眉沉思了一会儿，
“嗯，逻辑上好像勉强能行。”
在他的视角中。
林氏函子光学变式这个东西，还没用科学进行验证过。
所以.....
还得保持怀疑谨慎的态度才行。
林决也很赞同，“确实，这是相对理想化的推演，实际工况中，咱们还得经过反复测试。”
等到那人坐下，立马又是一个个专家站起来提问。
“没有绝对标定的参考基准，要怎么确定补偿量没有系统偏差呢？”
“多路径反射杂光带来的对比度损失，你靠波前补偿怎么消掉？”
“如果换高 NA 的更长光程，这套方法是否还能使用？”
“.......”
一个个问题被抛出。
林决依旧轻松解答。
“函子是基于自伴算子的正交分解做映射，所以偏差会刚好落在补偿空间的正交方向上。”
蒋墨闻言，立马激动拍了拍桌子，跟旁边的房怀年炫耀，“你看，我的推导和林决一样吧！”
与此同时，他心中再次不忘骂了一句：“我的废物孙子！看看人家！”
林决回答继续着，
“对比度损失的话.......函子算全局波前的时候，已经把所有多路径反射，当成传播群里的高阶元素算进全局解里。
所以，在这个过程中，已经不用在光路里塞光阑，而是可以靠镜面变形反向抵消。”
“NA更长光程吗？这个问题好......”
林决之前在做PPT的时候，忘了这个问题。
不过没关系.....
【全知】启动！
这一刻。
林决来到了整个过程的终局！
锡滴被激光打爆，新波长的极紫外光顺着照明光路射出。
林氏函子变式的规则下......
安装偏差，斜入射带来的相位非均匀性......全部消除。
光在 15 块镜子之间来回反射，固定波纹全程并未出现。
在脑海中预见了整个过程后。
林决立马关闭【全知】，微微呼出一口气，
“这个方法核心，还是通过局部测量值到全局补偿场的映射规则，所以更长的光依旧能够使用。”
“好了，下一个问题.......”
“林决，我认为.....”
“前辈的想法是对的，不过在应用林氏函子光学变式的情况下，可以这样这样，再那样那样.......”
此时此刻。
林决仿佛化身张无忌。
一人独挑六大门派高手！
当然了......
目前林决回答的所有问题，都只是单纯在理论上的。
这一切.....还需要跑仿真，然后再实际工程验证才行。
另外.....
别看林决刚才在众人面前装了个大的，也别看众人兴致勃勃，兴奋着讨论不停。
但这个问题要解决。
有一个最最最最重要的前提！！！
那就是......
林氏函子光学变式的映射关系表，需要完全成立！
现在......
光是验证这套东西，就不是个轻松的活。
不过嘛......
新的方向已经打开。
在场众人无不为之兴奋。
有的虽然已经一大把年纪，但此时内心热血沸腾，却充满了无穷动力！
如果......如果此事能成的话.....
华夏物理史书上，是否能有吾辈之名？
黄所站起来，笑道，
“所以......接下来的首要任务，是验证林氏函子光学变式的映射关系！”
“只要确定没问题，那我们就按照林决所说，将工作一步步推进下去！！”
他面向诸君，深深鞠躬，
“那就拜托了！诸位！”
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一个被林决规划好的消差工程节点图，出现在众人眼中。
林决声音随之传来，
“前辈们也都清楚，EUV 反射镜多层膜的原位相位非均匀性误差，是因为8 米极紫外长光程的全局波前基线失配产生的。”
“目前我们的做法和国外一样。”
“......用11 块钼硅多层膜，通过反射镜在斜入射入，让膜层反射偏差经过 8 米的光程，11的 次反射线性累积，最后形成固定波前畸变。”
“我看了胡老给的手稿。”
“目前，我们光机所单块反射镜精度极致工艺水平，面形 0.2nm RMS，13.5nm 反射率 65%......”
“对比蔡斯，ASML的成熟量产水平来看，面形差了0，反射率差也差了足足5%！”
“而在多次反射累计后......”
“这个差距变得更大了。”
“我们全链路最终波前精度是1.2nm RMS，而ASML的，是0.15nm RMS。”
“整整8倍的差距！！！”
“在这个数据下，实际工况仅能完成单根纳米线的原理验证！”
“没办法......我们既缺少高端测量仪器，还没有精准的全局耦合补偿模型......连实际误差都拿不到。”
林决的声音在会议室内回响。
他口中的这些问题，在座诸君都是清楚，也是他们为此努力奋斗解决的目标。
根据目前的进展来看......
要追上国外目前量产水平，在原本规划中，可能还要个十二三年左右的时间。
注意.....
这里林决说的还是量产水平，而并非最尖端产品！
“但现在......”
“根据我列出的工程节点推导。”
“林氏函子光学变式......咳咳......请允许我先用这个名字称呼它。”
“我们是不是可以将它先做跨尺度同构映射，然后将零散值变成全局真实的分布呢！？”
“这样做的话，我们就不用再去推演11次反射的相位积累.......”
“而是将十几个零散的可见光测量指数函子，完成两个关键映射！”
“大家且看......”
说着，林决点开其中一个节点示例，一个更加直观的模型图落入众人眼中。
“通过这种方式。”
“我们可以同构映射13.5纳米的EUV波长分布，以及同构11块镜子串起来后的误差分布。”
“如此一来。”
“我们便能准确知道，每一块镜子的具体相位偏差。”
核心专家组们听到此话后，不禁陷入沉思。
很快，有个跟原本就随胡老的光学设计师站起来问，
“林决你的想法很新奇，不过我有点疑惑，你要怎么确定每块镜子背面促动器要加的补偿电压？”
一听这话。
林决笑了出来，就在这儿等着你呢。
他关掉当前画面，打开另外一个节点图。
“函子根据这个真实的相位分布，直接输出电压值给促动器施加局部变形，把镜面反向相位补偿量就行。”
那个光学设计师皱眉沉思了一会儿，
“嗯，逻辑上好像勉强能行。”
在他的视角中。
林氏函子光学变式这个东西，还没用科学进行验证过。
所以.....
还得保持怀疑谨慎的态度才行。
林决也很赞同，“确实，这是相对理想化的推演，实际工况中，咱们还得经过反复测试。”
等到那人坐下，立马又是一个个专家站起来提问。
“没有绝对标定的参考基准，要怎么确定补偿量没有系统偏差呢？”
“多路径反射杂光带来的对比度损失，你靠波前补偿怎么消掉？”
“如果换高 NA 的更长光程，这套方法是否还能使用？”
“.......”
一个个问题被抛出。
林决依旧轻松解答。
“函子是基于自伴算子的正交分解做映射，所以偏差会刚好落在补偿空间的正交方向上。”
蒋墨闻言，立马激动拍了拍桌子，跟旁边的房怀年炫耀，“你看，我的推导和林决一样吧！”
与此同时，他心中再次不忘骂了一句：“我的废物孙子！看看人家！”
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“对比度损失的话.......函子算全局波前的时候，已经把所有多路径反射，当成传播群里的高阶元素算进全局解里。
所以，在这个过程中，已经不用在光路里塞光阑，而是可以靠镜面变形反向抵消。”
“NA更长光程吗？这个问题好......”
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安装偏差，斜入射带来的相位非均匀性......全部消除。
光在 15 块镜子之间来回反射，固定波纹全程并未出现。
在脑海中预见了整个过程后。
林决立马关闭【全知】，微微呼出一口气，
“这个方法核心，还是通过局部测量值到全局补偿场的映射规则，所以更长的光依旧能够使用。”
“好了，下一个问题.......”
“林决，我认为.....”
“前辈的想法是对的，不过在应用林氏函子光学变式的情况下，可以这样这样，再那样那样.......”
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当然了......
目前林决回答的所有问题，都只是单纯在理论上的。
这一切.....还需要跑仿真，然后再实际工程验证才行。
另外.....
别看林决刚才在众人面前装了个大的，也别看众人兴致勃勃，兴奋着讨论不停。
但这个问题要解决。
有一个最最最最重要的前提！！！
那就是......
林氏函子光学变式的映射关系表，需要完全成立！
现在......
光是验证这套东西，就不是个轻松的活。
不过嘛......
新的方向已经打开。
在场众人无不为之兴奋。
有的虽然已经一大把年纪，但此时内心热血沸腾，却充满了无穷动力！
如果......如果此事能成的话.....
华夏物理史书上，是否能有吾辈之名？
黄所站起来，笑道，
“所以......接下来的首要任务，是验证林氏函子光学变式的映射关系！”
“只要确定没问题，那我们就按照林决所说，将工作一步步推进下去！！”
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